一种光纤连接处功率自动检测装置

专利权的终止

摘要

本实用新型属于功率检测领域，具体公开了一种光刻系统中光纤连接处的激光功率自动检测装置。其设置在光纤与光纤连接盘连接处，包括Y型激光耦合器和光敏二极管，所述激光耦合器的输入端与光纤输出端相连，激光耦合器输出功率大的一个输出端与光纤连接盘的输入端相连，另一输出端与光敏二极管相连，所述激光耦合器的分束比与光敏二极管的功率放大倍数相适应。采用本实用新型检测装置不需拆下光纤即可得到检测结果，避免了人工操作存在的上述缺陷，提高了光刻机整体性能，可以实现光纤功率测量自动化。

基本信息

专利标题：

一种光纤连接处功率自动检测装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN200620049446.4

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2006-12-22

授权号：

CN200989995Y

授权日：

2007-12-12

发明人：

王健孙刚李琼

申请人：

上海微电子装备有限公司

申请人地址：

201203上海市张江高科技园区张东路1525号

代理机构：

上海智信专利代理有限公司

代理人：

王洁

优先权：

CN200620049446.4

主分类号：

G03F7/20

IPC分类号：

G03F7/20 G02B6/42