用于单晶体制备所需的多波形旋转控制装置
专利权的终止(未缴年费专利权终止)
摘要
本实用新型提供一种用于单晶体制备所需的多波形旋转控制装置，包括减速器、伺服电机驱动器和交流伺服电机，其中交流伺服电机分别与伺服电机驱动器和减速器连接，减速器经籽晶杆与坩锅固定连接，其特征在于：增设旋转控制装置，包括单片机U1～2、锁存器Q1～2、译码器U3和D/A转换器U4，其中单片机U2的P0口分别接锁存器Q1～2和译码器U3，其P1口的各引脚对应接单片机U1的P1口各引脚，单片机U2的串行通讯口接单片机U1的串行通讯口，译码器U3的输出端分别接锁存器Q1～2的控制端和D/A转换器U4的片选端，锁存器Q1～2的输出端接D/A转换器U4输入端，D/A转换器U4的输出端接伺服电机驱动器速度输入端。本实用新型能方便设定坩埚旋转的多种运动规律，有利于制备高质量的单晶体。
基本信息
专利标题 ：
用于单晶体制备所需的多波形旋转控制装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN200620083855.6
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2006-04-28
授权号 ：
CN2905829Y
授权日 ：
2007-05-30
发明人 ：
刘俊成宋德杰张红鹰
申请人 ：
山东理工大学
申请人地址 ：
255086山东省淄博市高新技术产业开发区高创园D座1012室
代理机构 ：
淄博科信专利商标代理有限公司
代理人 ：
吴红
优先权 ：
CN200620083855.6
主分类号 ：
C30B15/30
IPC分类号 ：
C30B15/30 C30B35/00
相关图片
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C30
晶体生长
C30B
单晶生长；共晶材料的定向凝固或共析材料的定向分层；材料的区熔精炼；具有一定结构的均匀多晶材料的制备；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之后处理；其所用的装置
C30B15/00
熔融液提拉法的单晶生长，例如Czochralski法
C30B15/30
转动或移动熔体或晶体的机构
法律状态
2009-07-01 ：
专利权的终止(未缴年费专利权终止)
2007-05-30 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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