本实用新型公开了一种重叠振动复合磨料加工装置。在硬脆材科加工过程中同时沿电镀金刚石工具轴向施加低频振动和超声振动，使低频振动和超声振动叠加在一起，并且给工具施加一轴向压力p，以水为介质将电镀金刚石和游离磨料同时引入加工区进行加工。加工装置具有相连接的压电换能器、第一螺钉、变幅杆、第三螺钉、电镀金刚石工具，变幅杆通过自身节点处的法兰盘、第二螺钉与压电换能器罩相接，电镀金刚石工具下方设有工作台和低频振动器，工作台上设有夹具。本实用新型进一步减少加工力(只有传统超声加工力的1/6～1/8)和工件内应力；加工精度提高至0.001～0.003mm；工件不会破碎，完整性好；加工成本低。