晶圆研磨环专用研磨加工机
专利权的终止(未缴年费专利权终止)
摘要

本实用新型公开了一种晶圆研磨环专用研磨加工机。包括一工作台,作X轴向及Y轴向的位移调整;一研磨轮,组设于工作台上方预定处作Z轴向的位移调整;一工件旋动装置,设于工作台上,其包括有组装部组设定位于工作台上,工件旋动装置顶端具一旋转盘,该旋转盘设有工件定位部可将要进行研磨的晶圆研磨环加以定位。当研磨加工机进行研磨加工时,利用工作台的Y轴向位移配合该工件旋动装置使工件同步产生旋转运动,使得研磨晶圆研磨环时,工件的Y轴向位移进给行程仅需跨越该工件其中一侧环圈的宽度距离即可完成整体工件的研磨动作,所需工时可缩减至最少,达到提升产程效率、降低成本的较佳产业利用性及进步性。

基本信息
专利标题 :
晶圆研磨环专用研磨加工机
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN200620123396.X
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2006-08-15
授权号 :
CN200945582Y
授权日 :
2007-09-12
发明人 :
蔡宝珠
申请人 :
蔡宝珠
申请人地址 :
中国台湾新竹市北区延平路一段261巷6弄9号
代理机构 :
北京中博世达专利商标代理有限公司
代理人 :
张岱
优先权 :
CN200620123396.X
主分类号 :
B24D18/00
IPC分类号 :
B24D18/00  B24B37/00  
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B24
磨削;抛光
B24D
磨削、抛光或刃磨用的工具
B24D18/00
其他类目不包括的磨具制造,如磨轮
法律状态
2009-10-07 :
专利权的终止(未缴年费专利权终止)
2007-09-12 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
1、
CN200945582Y.PDF
PDF下载
  • 联系电话
    电话:023-6033-8768
    QQ:1493236332
  • 联系 Q Q
    电话:023-6033-8768
    QQ:1493236332
  • 关注微信
    电话:023-6033-8768
    QQ:1493236332
  • 收藏
    电话:023-6033-8768
    QQ:1493236332