具有可分别三轴调整的双影像撷取装置的曝光机
专利权的终止
摘要
一种具有可分别三轴调整的双影像撷取装置的曝光机,包括曝光机台、曝光头、光罩组件、工作物载体、一对影像撷取装置;曝光机台至少有一工作空间;曝光头可移至工作空间的上方且可垂直向下发出预定的光线;光罩组件可移至工作空间中,用以承载一预定的光罩元件,光罩元件上有至少两个第一定位记号;工作物载体可移至工作空间中且位于光罩元件下方,其用以承载一待曝光工作物,工作物上有至少两个第二定位记号;一对影像撷取装置;一对三轴调整装置,每一三轴调整装置用以独立调整对应的影像撷取装置在X轴、Y轴、Z轴方向的空间位置。本实用新型为内藏式设计不占空间,可分别进行三维调整,并适用特殊定位标记。
基本信息
专利标题 :
具有可分别三轴调整的双影像撷取装置的曝光机
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN200620137898.8
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2006-09-29
授权号 :
CN200972570Y
授权日 :
2007-11-07
发明人 :
林宪维
申请人 :
科毅科技股份有限公司
申请人地址 :
中国台湾
代理机构 :
天津三元专利商标代理有限责任公司
代理人 :
郑永康
优先权 :
CN200620137898.8
主分类号 :
G03F7/20
IPC分类号 :
G03F7/20
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术;电影术;利用了光波以外其他波的类似技术;电记录术;全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺,例如,印刷工艺、半导体器件的加工工艺;其所用材料;其所用原版;其所用专用设备
G03F7/00
图纹面,例如,印刷表面的照相制版如光刻工艺;图纹面照相制版用的材料,如:含光致抗蚀剂的材料;图纹面照相制版的专用设备
G03F7/20
曝光及其设备
法律状态
2012-11-28 :
专利权的终止
未缴年费专利权终止号牌文件类型代码 : 1605
号牌文件序号 : 101355719705
IPC(主分类) : G03F 7/20
专利号 : ZL2006201378988
申请日 : 20060929
授权公告日 : 20071107
终止日期 : 20110929
号牌文件序号 : 101355719705
IPC(主分类) : G03F 7/20
专利号 : ZL2006201378988
申请日 : 20060929
授权公告日 : 20071107
终止日期 : 20110929
2007-11-07 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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