静电梳状驱动MEMS双轴拉伸疲劳特性实验装置
其他有关事项(避免重复授权放弃专利权)
摘要
本实用新型公开了一种静电梳状驱动MEMS双轴拉伸疲劳特性研究装置，属于微纳米尺度材料特性基础研究领域。该装置共有两个电极(1，2)，其中电极(2)接交流电，通过多晶硅结构层连接到固定梳齿(12、13)。另一个电极(1)接地，通过结构层的两个相互垂直的悬臂梁与梁另一端的悬置梳齿连接。接交流电的两组固定梳齿与接地的两组悬置梳齿交错设置从而构成两组梳齿静电驱动器。两个相互垂直的悬臂梁交叉部分为疲劳试样。本实用新型中使得试样(悬臂梁的公共部分)(7)处于典型的双轴拉伸应力状态下，克服了传统MEMS实验装置仅能够模拟试样的单轴拉伸和弯曲应力状态的不足；这样对于MEMS疲劳特性的研究非常有利。
基本信息
专利标题 ：
静电梳状驱动MEMS双轴拉伸疲劳特性实验装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN200620158423.7
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2006-11-10
授权号 ：
CN200975964Y
授权日 ：
2007-11-14
发明人 ：
尚德广贾冠华李立森王瑞杰孙国芹邓静刘豪
申请人 ：
北京工业大学
申请人地址 ：
100022北京市朝阳区平乐园100号
代理机构 ：
北京思海天达知识产权代理有限公司
代理人 ：
沈波
优先权 ：
CN200620158423.7
主分类号 ：
G01N3/16
IPC分类号 ：
G01N3/16 G01N3/08 G01M19/00
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N3/00
用机械应力测试固体材料的强度特性
G01N3/08
施加稳定的张力或压力
G01N3/16
通过齿轮施加的
法律状态
2009-06-10 ：
其他有关事项(避免重复授权放弃专利权)
放弃生效日 : 2009527
2007-11-14 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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