本实用新型公开了一种超精密机床的隔振装置，机床床身通过六角螺栓与混凝土基础相连接，螺栓上设有螺母，所述床身的螺栓连接处设有弹簧上座，所述混凝土基础的螺栓连接处设有与弹簧上座相互对应的弹簧下座，所述弹簧上座和弹簧下座之间设有压缩弹簧，所述压缩弹簧套接在螺栓上。采用上述超精密机床的隔振装置，由于在机床床身与混凝土基础之间采用了压缩弹簧连接，这样形成了一个隔振元件，有效地保证了机床的加工精度，防止尺寸漂移。