面向纳米观测与操作的样品无损逼近装置

专利权的终止

摘要

一种面向纳米观测与操作的样品无损逼近装置，包括：初调运动平台，通过由步进电机连接一维运动平台；精密运动平台，由PZT驱动器构成，安在一维运动平台内；反馈控制单元，将位于样品上方探针设在激光光路上，产生的反射激光至光电传感器；驱动控制器，与光电传感器电连接，并与步进电机和PZT驱动器通讯；光电限位开关，被固在底座侧壁和一维运动平台上；驱动控制器以单片机为核心，与上位机通信交换系统状态与控制参数信息。通过控制样品相对于探针进行微米级的初调运动及纳米级的精密运动，经检测反射激光光斑的位置变化信号的反馈控制步骤，通过检测样品逼近探针产生原子力作用时产生的光电检测信息进行反馈控制，达到控制样品无损逼近探针的目的。

基本信息

专利标题：

面向纳米观测与操作的样品无损逼近装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN200620168529.5

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2006-12-22

授权号：

CN201047823Y

授权日：

2008-04-16

发明人：

缪磊周磊董再励刘柱王越超

申请人：

中国科学院沈阳自动化研究所

申请人地址：

110016辽宁省沈阳市东陵区南塔街114号

代理机构：

沈阳科苑专利商标代理有限公司

代理人：

许宗富

优先权：

CN200620168529.5

主分类号：

G01N13/16

IPC分类号：

G01N13/16 G12B21/20 G12B5/00