绿激光显微精密修调机
专利权的终止
摘要

本实用新型涉及一种绿激光显微精密修调机,由机架、二维工作台、精密旋转台、探针、高倍显微镜、外光路护套、45度全反镜、扩束镜、激光器部件组成,机架的上面安装激光器,在激光器的出光孔处装有扩束镜,45度全反镜安装在扩束镜与外光路护套之间,机架的中间安装高倍显微镜,高倍显微镜的上方与外光路护套相连,且其下方的物镜聚焦的绿激光直达精密旋转台,机架的下方安装二维数控工作台,二维工作台的上面装有精密旋转台和探针。本实用新型利用精细聚焦的高峰值功率脉冲绿激光光斑,作为精密修切的光刀,配以实时自动检测和精密移位工作台,可实现对电阻、电路和传感器等器件作高精度自动修切调整,使电阻调节、断点刻蚀和图案标刻一气呵成。

基本信息
专利标题 :
绿激光显微精密修调机
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN200620172515.0
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2006-12-22
授权号 :
CN200994226Y
授权日 :
2007-12-19
发明人 :
卢飞星陈泽民邱忠明汪宏志游立德
申请人 :
武汉华工激光工程有限责任公司
申请人地址 :
430223湖北省武汉市华中科技大学科技园华工科技激光产业园
代理机构 :
武汉开元专利代理有限责任公司
代理人 :
唐正玉
优先权 :
CN200620172515.0
主分类号 :
H05K3/00
IPC分类号 :
H05K3/00  H01L21/00  H05K13/06  
法律状态
2012-02-29 :
专利权的终止
未缴年费专利权终止号牌文件类型代码 : 1605
号牌文件序号 : 101192312334
IPC(主分类) : H05K 3/00
专利号 : ZL2006201725150
申请日 : 20061222
授权公告日 : 20071219
终止日期 : 20101222
2007-12-19 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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