一种打胶自动设备的偏移监控装置
专利权的终止
摘要
本实用新型公开一种半导体制造工艺中常用的打胶自动设备的偏移监控装置，包括：自动叶片、腔室，该腔室具有一开口，其中，上述自动叶片具有至少一个贯穿该自动叶片的孔洞，上述腔室设有一传感器，当该自动叶片工作时，上述孔洞与上述传感器的位置相对应。本实用新型提出的自动设备的偏移监控装置主要应用于GaSonic公司的打胶自动设备，能够在自动叶片位置发生偏移时，该传感器可以立即发出信号，使设备工作更精确。
基本信息
专利标题 ：
一种打胶自动设备的偏移监控装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN200620175010.X
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2006-12-19
授权号 ：
CN201023088Y
授权日 ：
2008-02-20
发明人 ：
闫世博
申请人 ：
和舰科技(苏州)有限公司
申请人地址 ：
215123江苏省苏州市苏州工业园区星华街333号
代理机构 ：
北京连和连知识产权代理有限公司
代理人 ：
薛平
优先权 ：
CN200620175010.X
主分类号 ：
B05C13/02
IPC分类号 ：
B05C13/02 B05C5/02 H01L21/68
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B05
一般喷射或雾化；对表面涂覆流体的一般方法
B05C
一般对表面涂布流体的装置
B05C13/00
操纵或夹持工件的方法，如对单个物体
B05C13/02
对特殊物品
法律状态
2011-03-16 ：
专利权的终止
未缴年费专利权终止号牌文件类型代码 : 1605
号牌文件序号 : 101056297779
IPC(主分类) : B05C 13/02
专利号 : ZL200620175010X
申请日 : 20061219
授权公告日 : 20080220
终止日期 : 20100119
号牌文件序号 : 101056297779
IPC(主分类) : B05C 13/02
专利号 : ZL200620175010X
申请日 : 20061219
授权公告日 : 20080220
终止日期 : 20100119
2008-02-20 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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