标记偏移的检查设备
授权
摘要
本实用新型提供了一种标记偏移的检查设备。该标记偏移的检查设备包括识别探头和具有透视窗的遮挡板，用于根据识别探头透过透视窗是否识别到基板上完整的编码标记，而直观的判断出基板上的编码标记是否存在偏移，其操作简单，可以方便、快速的得到检查结果。
基本信息
专利标题 ：
标记偏移的检查设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202123456185.1
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-12-31
授权号 ：
CN216648243U
授权日 ：
2022-05-31
发明人 ：
邢国兵张希山
申请人 ：
绍兴中芯集成电路制造股份有限公司
申请人地址 ：
浙江省绍兴市皋埠镇临江路518号
代理机构 ：
上海思微知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
曹廷廷
优先权 ：
CN202123456185.1
主分类号 ：
H01L21/67
IPC分类号 ：
H01L21/67 H01L21/68
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
法律状态
2022-05-31 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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