机电开关

发明专利申请公布后的视为撤回

摘要

提供了一种能够以低驱动电压执行高速响应的机电开关。作为MEMS开关的机电开关主体(10)包括第一可动电极(14)、第二可动电极(16)和固定电极(18)，第一可动电极和第二可动电极的两端通过形成于硅衬底(2)上的第一锚件(12)和第二锚件(13)固定并桥接，所述固定电极与这些可动电极相对。具有相对弱的弹簧力的第一可动电极(14)和固定电极(18)构成能够以低电压驱动的第一机电开关(22)。具有相对强的弹簧力的第二可动电极(16)和固定电极(18)构成能够以低电压驱动和锁定的第二机电开关(24)。由低驱动电压使第一可动电极(14)迅速发生位移，从而迅速接通第一机电开关，通过回复力使第二可动电极(16)进行迅速的固有振荡，从而迅速断开第二机电开关。以低驱动电压锁定返回的第二可动电极(16)，并接通第二机电开关。

基本信息

专利标题：

机电开关

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN1942986A

申请号：

CN200680000113.5

公开（公告）日：

2007-04-04

申请日：

2006-01-20

授权号：

暂无

授权日：

暂无

发明人：

中西淑人

申请人：

松下电器产业株式会社

申请人地址：

日本大阪府

代理机构：

北京市柳沈律师事务所

代理人：

陶凤波

优先权：

CN200680000113.5

主分类号：

H01H1/26

IPC分类号：

H01H1/26 H01H57/00 B81B3/00 H01H59/00 H01H9/54 H01H61/00 H01H55/00