微机电系统开关及其制备方法
实质审查的生效
摘要
本公开提供一种微机电系统开关及其制备方法，属于射频开关技术领域。本公开的微机电系统开关包括衬底基板；膜桥，其包括与衬底基板相对设置的第一桥体，以及设置在衬底基板上用于支撑第一桥体的至少一个连接臂；驱动电极，设置在第一桥体靠近衬底基板的一侧，且与第一桥体之间存在一定的空间；第一绝缘层，至少覆盖驱动电极靠近第一桥体的表面；辅助功能结构，至少设置在第一桥体上，且辅助功能结构的弹性模量大于第一桥体的弹性模量。
基本信息
专利标题 ：
微机电系统开关及其制备方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114551166A
申请号 ：
CN202210162889.8
公开（公告）日 ：
2022-05-27
申请日 ：
2022-02-22
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
冯昱霖李月肖月磊曹雪韩基挏常文博吴艺凡周毅王立会魏秋旭安齐昌曲峰
申请人 ：
北京京东方光电科技有限公司;京东方科技集团股份有限公司
申请人地址 ：
北京市北京经济技术开发区西环中路8号
代理机构 ：
北京天昊联合知识产权代理有限公司
代理人 ：
李迎亚
优先权 ：
CN202210162889.8
主分类号 ：
H01H59/00
IPC分类号 ：
H01H59/00 H01H49/00
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01H
电开关；继电器；选择器；紧急保护装置
H01H59/00
静电继电器；电附着继电器
法律状态
2022-06-14 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01H 59/00
申请日 : 20220222
申请日 : 20220222
2022-05-27 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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