描述光学隔离的微机电(MEMS)开关和相关方法。本文所述光学隔离的MEMS开关可用于提供电子设备之间的隔离。例如，本文所述类型的光学隔离的MEMS开关可以在接收电子设备和控制电路之间使用单独的接地。通过使用光学隔离器和MEMS开关可以实现高压信号和高压电源的隔离，其中光学隔离器控制MEMS开关的状态。在一些实施方案中，利用光学隔离器提供高电压，可以去除对诸如高压电源和电荷泵之类的电高压源的需求，从而消除了对接收电子设备的潜在损坏的原因。在一个示例中，光学隔离器和MEMS开关可以共同封装在同一衬底上。