增强衬底载具搬运器操作的方法和装置

专利权的终止

摘要

本发明提供了系统、机器和方法，其中，从机器向加工设备发送第一信号，第一信号指示所有的待处理衬底都已从指定载具卸下，并指示可以从机器的装载端口暂时卸载该指定载具。从机器向加工设备发送第二信号，第二信号指示可以使指定载具返回机器。在载具从机器卸载期间，卡载具可以装载到腾出的装载端口。本发明还公开了多个其他的特征和方面。

基本信息

专利标题：

增强衬底载具搬运器操作的方法和装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN101273312A

申请号：

CN200680000205.3

公开（公告）日：

2008-09-24

申请日：

2006-01-27

授权号：

暂无

授权日：

暂无

发明人：

迈克尔·特弗拉阿米特巴·普瑞埃里克·英格哈特

申请人：

应用材料公司

申请人地址：

美国加利福尼亚州

代理机构：

北京东方亿思知识产权代理有限责任公司

代理人：

赵飞

优先权：

CN200680000205.3

主分类号：

G05B19/418

IPC分类号：

G05B19/418 H01L21/68

IPC结构图谱

G部——物理

G05

控制；调节

G05B

一般的控制或调节系统；这种系统的功能单元；用于这种系统或单元的监视或测试装置

G05B19/00

程序控制系统

G05B19/02

电的

G05B19/418

全面工厂控制，即集中控制许多机器，例如直接或分布数字控制、柔性制造系统、集成制造系统、计算机集成制造

法律状态

2020-01-17 ：

专利权的终止

未缴年费专利权终止IPC(主分类) : G05B 19/418
申请日 : 20060127
授权公告日 : 20120704
终止日期 : 20190127

2012-07-04 ：

授权

2008-11-19 ：

实质审查的生效

2008-09-24 ：

公开

注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。

文件下载

1、

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2、

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