载具

授权

摘要

本实用新型提供一种载具，应用于利用PECVD制备石墨烯的装置中，该装置包括两个相对设置的极板以及生长基底，载具包括套筒、多个第一支撑部和多个第二支撑部，套筒呈中空结构；多个第一支撑部设于套筒内，且沿垂直于极板的方向间隔设置；多个第二支撑部设于套筒内，且沿垂直于极板的方向间隔设置；每个极板的相对两侧能分别搭接于多个第一支撑部的其中一个上和多个第二支撑部的其中一个上，两个极板平行设置；生长基底的相对两侧能分别搭接于多个第一支撑部的另一个上和多个第二支撑部的另一个上，且生长基底位于两个极板之间。

基本信息

专利标题：

载具

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202021106694.4

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-06-16

授权号：

CN212425452U

授权日：

2021-01-29

发明人：

彭海琳王可心杨皓王雄彪曹风武钦慈刘忠范

申请人：

北京石墨烯研究院;北京大学

申请人地址：

北京市海淀区苏家坨镇翠湖南路13号院中关村翠湖科技园2号楼

代理机构：

北京律智知识产权代理有限公司

代理人：

赵新龙

优先权：

CN202021106694.4

主分类号：

C01B32/186

IPC分类号：

C01B32/186