分区式石墨烯薄膜制备装置及制备方法
公开
摘要
本申请提供一种分区式石墨烯薄膜制备装置，包括放料腔、收料腔和高温腔。放料腔内部设置有放料辊。收料腔内部设置有收料辊。高温腔设置在放料腔和收料腔之间，高温腔的内部设置有载具，载具的上方设置有限域挡板，限域挡板与载具形成一狭缝，限域挡板邻近放料腔，狭缝和载具均由放料腔向收料腔延伸，狭缝的延伸长度是载具的延伸长度的30％～60％，载具的下方设置有加热器。通过以上设计，可实现衬底预处理区域和石墨烯薄膜的高温生长区域分开，且预处理和高温生长可以同时进行。
基本信息
专利标题 ：
分区式石墨烯薄膜制备装置及制备方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114572970A
申请号 ：
CN202210291247.8
公开（公告）日 ：
2022-06-03
申请日 ：
2022-03-23
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
刘忠范陈恒孙禄钊朱安邦马子腾李勤
申请人 ：
北京石墨烯研究院;北京大学
申请人地址 ：
北京市海淀区翠湖南环路13号院智谷中心2号楼
代理机构 ：
北京律智知识产权代理有限公司
代理人 ：
阚梓瑄
优先权 ：
CN202210291247.8
主分类号 ：
C01B32/186
IPC分类号 ：
C01B32/186
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C01
无机化学
C01B
非金属元素；其化合物
C01B32/00
碳；其化合物
C01B32/15
纳米级碳材料
C01B32/182
石墨烯
C01B32/184
制备
C01B32/186
化学气相沉积
法律状态
2022-06-03 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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