分区式石墨烯薄膜制备装置及制备方法
公开
摘要
本申请提供一种分区式石墨烯薄膜制备装置,包括放料腔、收料腔和高温腔。放料腔内部设置有放料辊。收料腔内部设置有收料辊。高温腔设置在放料腔和收料腔之间,高温腔的内部设置有载具,载具的上方设置有限域挡板,限域挡板与载具形成一狭缝,限域挡板邻近放料腔,狭缝和载具均由放料腔向收料腔延伸,狭缝的延伸长度是载具的延伸长度的30%~60%,载具的下方设置有加热器。通过以上设计,可实现衬底预处理区域和石墨烯薄膜的高温生长区域分开,且预处理和高温生长可以同时进行。
基本信息
专利标题 :
分区式石墨烯薄膜制备装置及制备方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114572970A
申请号 :
CN202210291247.8
公开(公告)日 :
2022-06-03
申请日 :
2022-03-23
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
刘忠范陈恒孙禄钊朱安邦马子腾李勤
申请人 :
北京石墨烯研究院;北京大学
申请人地址 :
北京市海淀区翠湖南环路13号院智谷中心2号楼
代理机构 :
北京律智知识产权代理有限公司
代理人 :
阚梓瑄
优先权 :
CN202210291247.8
主分类号 :
C01B32/186
IPC分类号 :
C01B32/186
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C01
无机化学
C01B
非金属元素;其化合物
C01B32/00
碳;其化合物
C01B32/15
纳米级碳材料
C01B32/182
石墨烯
C01B32/184
制备
C01B32/186
化学气相沉积
法律状态
2022-06-03 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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