一种弯曲石墨结构嵌插节后氟化碳薄膜制备方法
公开
摘要
本申请公开了一种弯曲石墨结构嵌插节后氟化碳薄膜制备方法，所述弯曲石墨结构嵌插节后氟化碳薄膜制备方法包括如下步骤(1)对惰性衬底进行彻底清洗；(2)将惰性衬底放在真空室内；(3)将辅助性碳氢源气体与碳氟源气体混合后通入工艺室；(4)对碳氢源气体与碳氟源气体进行电离分解；(5)在衬底上制备石墨烯层，在石墨烯层上设备保护层；(6)对衬底进行多次弯折后对衬底以及保护层进行去除得到氟化碳膜，本申请利用弯曲结构的石墨在纵方向进行热传导的特性，使得本氟化碳膜具有较为的热稳定性，本工艺均匀性以及重复性较好，污染少、成本低、容易操作。
基本信息
专利标题 ：
一种弯曲石墨结构嵌插节后氟化碳薄膜制备方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114590793A
申请号 ：
CN202210246676.3
公开（公告）日 ：
2022-06-07
申请日 ：
2022-03-14
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
魏利
申请人 ：
苏州科国智新材料科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市吴江区盛泽镇西二环路1188号中国盛泽纺织科技创业园10号楼202室
代理机构 ：
盐城海纳川知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
丁绘燕
优先权 ：
CN202210246676.3
主分类号 ：
C01B32/10
IPC分类号 ：
C01B32/10 C01B32/186 C01B32/194
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C01
无机化学
C01B
非金属元素；其化合物
C01B32/00
碳；其化合物
C01B32/10
氟化碳, 如 n 或 n
法律状态
2022-06-07 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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