复合结构吸气剂薄膜及其制备方法

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摘要

本公开提供一种复合结构吸气剂薄膜及其制备方法，该方法包括提供一基底；以第一吸气剂合金为靶材，采用磁控溅射法于基底上沉积磁控溅射层；及以第二吸气剂合金为靶材，采用真空蒸发镀膜法于磁控溅射层上沉积真空蒸镀层，得到复合结构吸气剂薄膜。本公开通过利用不同的镀膜方法，构建出具有微观梯度形貌设计的复合结构吸气剂薄膜，使所得复合结构吸气剂薄膜可同时满足良好膜层力学性能、高孔隙率、高吸气容量、高吸气速率和可低温激活等特点，具有良好的工业应用前景。

基本信息

专利标题：

复合结构吸气剂薄膜及其制备方法

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN110863183A

申请号：

CN201911198657.2

公开（公告）日：

2020-03-06

申请日：

2019-11-29

授权号：

CN110863183B

授权日：

2022-04-08

发明人：

李长安高峰李晓刚聂鹏胡双丽

申请人：

中山凯旋真空科技股份有限公司

申请人地址：

广东省中山市横栏镇环镇北路27号

代理机构：

北京律智知识产权代理有限公司

代理人：

司丽琦

优先权：

CN201911198657.2

主分类号：

C23C14/35

IPC分类号：

C23C14/35 C23C14/32 C23C14/14