一种具有薄膜镀层的吸气剂及其制备方法和应用
实质审查的生效
摘要
本发明提供一种具有薄膜镀层的吸气剂及其制备方法和应用，涉及新材料领域。该具有薄膜镀层的吸气剂，包括吸气剂基材及其表面的薄膜镀层，吸气剂基材的原料包括Zr粉和ZrVFe合金粉末，薄膜镀层为Ni层。Ni层可使H2分子在吸气剂表面的解离能降低，提高吸气剂的吸气性能，也可有效阻止O2等活性气体对吸气剂基材的氧化，从而降低吸气剂的激活温度。本发明提供的具有薄膜镀层的吸气剂可以在300～450℃烘烤过程中实现激活，能够很好地避免在激活过程中对器件的损伤。吸气剂激活后在室温条件下具有良好的吸气性能，可吸收电真空器件中的活性气体，提供器件封离后所需的真空度，保证器件的寿命及稳定性和可靠性。
基本信息
专利标题 ：
一种具有薄膜镀层的吸气剂及其制备方法和应用
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114318233A
申请号 ：
CN202111519069.1
公开（公告）日 ：
2022-04-12
申请日 ：
2021-12-10
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
冯焱宋伊成永军孙雯君裴晓强邱云涛
申请人 ：
兰州空间技术物理研究所
申请人地址 ：
甘肃省兰州市城关区渭源路97号
代理机构 ：
北京元理果知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
饶小平
优先权 ：
CN202111519069.1
主分类号 ：
C23C14/16
IPC分类号 ：
C23C14/16 C23C14/35 C22C16/00 C22C1/08 B22F3/11 B01J20/28 B01J20/02 B01J20/32 B01J20/30
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/06
以镀层材料为特征的
C23C14/14
金属材料、硼或硅
C23C14/16
在金属基体或在硼或硅基体上
法律状态
2022-04-29 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : C23C 14/16
申请日 : 20211210
申请日 : 20211210
2022-04-12 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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