一种氟化锂改性的钛酸钡基介质薄膜及其制备方法
公开
摘要
本发明提供一种氟化锂改性的钛酸钡基介质薄膜及其制备方法，属于电子材料与元器件领域。该介质薄膜化学组成的化学通式为(1‑y)Ba1‑xRexTiO3‑yLiF，其中0.005≤x≤0.02，0.0025≤y≤0.03，y为质量分数，Re为La、Ce、Pr中的一种或两种元素。采用溶胶凝胶法制备，分别配制Ba1‑xRexTiO3和LiF前驱体溶液；通过分别旋涂、干燥、热解、退火、扩散，最终形成(1‑y)Ba1‑xRexTiO3‑yLiF固溶体。本发明通过掺杂，并在制备时调节退火温度、退火时间控制氟的挥发，从而获得温度稳定性好、耐击穿强度高的介电薄膜。
基本信息
专利标题 ：
一种氟化锂改性的钛酸钡基介质薄膜及其制备方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114560693A
申请号 ：
CN202210326578.0
公开（公告）日 ：
2022-05-31
申请日 ：
2022-03-30
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
李欣芮何秋蔚罗宇舟刘来君彭彪林陈雪
申请人 ：
南京卡巴卡电子科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省南京市江宁区禄口街道神舟路37号禄口创智产业园D-112号
代理机构 ：
南宁新途专利代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
但玉梅
优先权 ：
CN202210326578.0
主分类号 ：
C04B35/468
IPC分类号 ：
C04B35/468 C04B35/622 H01G4/12
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C04
水泥；混凝土；人造石；陶瓷；耐火材料
C04B
石灰；氧化镁；矿渣；水泥；其组合物，例如：砂浆、混凝土或类似的建筑材料；人造石；陶瓷；耐火材料；天然石的处理
C04B35/00
以成分为特征的陶瓷成型制品；陶瓷组合物；准备制造陶瓷制品的无机化合物的加工粉末
C04B35/01
以氧化物为基料的
C04B35/46
以氧化钛或钛酸盐为基料的
C04B35/462
以钛酸盐为基料的
C04B35/465
以碱土金属钛酸盐为基料的
C04B35/468
以钛酸钡为基料的
法律状态
2022-05-31 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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