锡钛酸钡铁电薄膜的制备方法

专利权的终止

摘要

本发明属于制备非铅系锡钛酸钡BTS铁电薄膜的方法领域。本发明所述的Ba(Ti，Sn)O₃铁电薄膜的制备方法，其中成分锡所用的原料是二丁基氧化锡((C₄H₉)₂SnO)。与醋酸锡相比，本发明所使用的原材料二丁基氧化锡价格便宜、易购买，用其制备出的锡钛酸钡铁电薄膜同样具有较好的性能。本发明所使用的方法在和Si工艺的集成过程中没有铅的污染。与钛酸锶钡(BST)相比，在结构上，锡钛酸钡Ba(Ti，Sn)O₃ (BTS)材料属于ABO₃钙钛矿结构中的B位替代，其晶粒尺寸可以在比较大的范围内调整；性能上，相对于薄膜材料降低了漏导，提高了耐压特性。

基本信息

专利标题：

锡钛酸钡铁电薄膜的制备方法

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN1947863A

申请号：

CN200510030500.0

公开（公告）日：

2007-04-18

申请日：

2005-10-13

授权号：

暂无

授权日：

暂无

发明人：

翟继卫宋三年

申请人：

同济大学

申请人地址：

200092上海市四平路1239号

代理机构：

上海光华专利事务所

代理人：

余明伟

优先权：

CN200510030500.0

主分类号：

B05D5/12

IPC分类号：

B05D5/12 B05D1/00 B05D3/02 B05C9/08 H01L41/22