一种柔性复合铁电薄膜及其制备方法

专利权的终止

摘要

本发明属于一种低温制备具有柔性基底的复合铁电薄膜及其制备方法领域。本发明所述的柔性复合铁电薄膜的制备方法如下：采用溶胶凝胶的方法配制前驱体溶液，然后旋转涂覆在柔性基片上，将涂覆好的薄膜浸渍在90－300℃的水热环境中热处理10～30小时，最后溅射上电极即可。本发明利用溶胶凝胶与水热处理相结合的方法，水热反应条件比较温和、能耗较低、适用性广，同时可以通过对反应温度、时间和压力，溶液的组成以及溶液pH值等因素的调节有效的控制反应和晶体生长进程，从而得到理想的材料，可用于制备电路器件和特殊的生物医学材料。

基本信息

专利标题：

一种柔性复合铁电薄膜及其制备方法

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN1966764A

申请号：

CN200510110555.2

公开（公告）日：

2007-05-23

申请日：

2005-11-18

授权号：

暂无

授权日：

暂无

发明人：

翟继卫徐金宝

申请人：

同济大学

申请人地址：

200092上海市杨浦区四平路1239号

代理机构：

上海光华专利事务所

代理人：

余明伟

优先权：

CN200510110555.2

主分类号：

C23C18/02

IPC分类号：

C23C18/02 C23C18/12 H01L21/02 H01L27/13 H01L31/0392 H01L49/02