钛酸铋铁电薄膜的制备方法
专利权的终止未缴年费专利权终止
摘要
一种钛酸铋铁电薄膜的制备方法，采用常压有机化学汽相沉积工艺将钛源和铋源加热挥发，用氮气为载气携带挥发钛源和铋源通入生长室时，同时氮气和氧气通入生长室内，生长室内放有衬底，在常压加热情况下，在衬底上制得薄膜，该方法工艺简单，方便，薄膜生长周期短，制得的薄膜均匀，致密，无微裂，且铁电性能及电光性能良好，可用于制作铁电存贮器和电光器件及铁电超导复合器件。
基本信息
专利标题 ：
钛酸铋铁电薄膜的制备方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN1090428A
申请号 ：
CN93110243.X
公开（公告）日 ：
1994-08-03
申请日 ：
1993-01-15
授权号 ：
CN1033384C
授权日 ：
1996-11-27
发明人 ：
王弘王民付丽伟余立尚淑霞王晓林
申请人 ：
山东大学
申请人地址 ：
250100山东省济南市山大南路27号
代理机构 ：
山东大学专利事务所
代理人 ：
许德山
优先权 ：
CN93110243.X
主分类号 ：
C04B35/46
IPC分类号 ：
C04B35/46 H01L41/24 H01L41/187
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C04
水泥；混凝土；人造石；陶瓷；耐火材料
C04B
石灰；氧化镁；矿渣；水泥；其组合物，例如：砂浆、混凝土或类似的建筑材料；人造石；陶瓷；耐火材料；天然石的处理
C04B35/00
以成分为特征的陶瓷成型制品；陶瓷组合物；准备制造陶瓷制品的无机化合物的加工粉末
C04B35/01
以氧化物为基料的
C04B35/46
以氧化钛或钛酸盐为基料的
法律状态
2001-03-07 ：
专利权的终止未缴年费专利权终止
1996-11-27 ：
授权
1994-08-03 ：
公开
1994-02-02 ：
实质审查请求的生效
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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