具有双铁电层复合薄膜的光电探测器及其制备方法
公开
摘要
本发明提供一种具有双铁电层复合薄膜的光电探测器制备方法，该方法包括：按照化学计量比配置镍酸镧底电极、BFMO和BLFO的前驱体溶液。随后在洗净的硅基片上经过旋涂和热处理按顺序分别制备镍酸镧底电极、BLFO铁电层和BFMO铁电层并在顶层溅射上金电极，形成垂直的电极结构及光电探测器。本发明还提供一种光电探测器。本发明能够实现较高的光电探测性能。
基本信息
专利标题 ：
具有双铁电层复合薄膜的光电探测器及其制备方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114628548A
申请号 ：
CN202210251334.0
公开（公告）日 ：
2022-06-14
申请日 ：
2022-03-15
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
李雍王光成孙宁宁郝喜红张姗宫傲
申请人 ：
内蒙古科技大学
申请人地址 ：
内蒙古自治区包头市昆都仑区阿尔丁大街7号
代理机构 ：
北京锺维联合知识产权代理有限公司
代理人 ：
黄利萍
优先权 ：
CN202210251334.0
主分类号 ：
H01L31/18
IPC分类号 ：
H01L31/18 H01L31/032 H01L31/101
法律状态
2022-06-14 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
