一种薄膜材料的改性方法及改性薄膜材料
授权
摘要
本发明公开了一种薄膜材料的改性方法及改性薄膜材料，其包括在薄膜的至少一个表面蒸镀上纳米贵金属层，获得表面处理材料；对表面处理材料注入氢离子。本发明对薄膜材料通氢气热处理前进行贵金属蒸镀，使得薄膜材料表面的贵金属能够对氢离子获得更好吸附，使得氢离子可以注入薄膜材料中，从而实现对薄膜材料的改性。
基本信息
专利标题 ：
一种薄膜材料的改性方法及改性薄膜材料
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN111910155A
申请号 ：
CN202010611122.X
公开（公告）日 ：
2020-11-10
申请日 ：
2020-06-30
授权号 ：
CN111910155B
授权日 ：
2022-05-31
发明人 ：
洪宾张帆许涌张悦赵巍胜
申请人 ：
北京航空航天大学合肥创新研究院
申请人地址 ：
安徽省合肥市新站高新技术开发区文忠路999号
代理机构 ：
合肥天明专利事务所(普通合伙)
代理人 ：
汪贵艳
优先权 ：
CN202010611122.X
主分类号 ：
C23C14/18
IPC分类号 ：
C23C14/18 C23C14/58 C23C14/30 C23C14/35 C23C14/48
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/06
以镀层材料为特征的
C23C14/14
金属材料、硼或硅
C23C14/18
在其他无机物基体上
法律状态
2022-05-31 ：
授权
2020-11-27 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : C23C 14/18
申请日 : 20200630
申请日 : 20200630
2020-11-10 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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