压电物质元件、压电物质膜制造方法、液体排出头以及液体排出装置

压电物质元件、压电物质膜制造方法、液体排出头以及液体排出...

专利申请权、专利权的转移

摘要

一种压电物质元件，其在基板上具有压电物质膜和一对与所述压电物质膜连接的电极，并且所述压电物质膜的主要成分是Pb(Zr，Ti)O₃，Zr/(Zr+Ti)的组成比例大于0.4但小于0.7，所述压电物质膜是至少具有四方晶体a畴和c畴的膜，所述a畴和c畴相对于所述基板表面的角度在±10°的范围内，并且c畴体积与a畴和c畴的总体积之比等于或大于20％并且等于或小于60％。

基本信息

专利标题：

压电物质元件、压电物质膜制造方法、液体排出头以及液体排出装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN101107724A

申请号：

CN200680002605.8

公开（公告）日：

2008-01-16

申请日：

2006-01-18

授权号：

暂无

授权日：

暂无

发明人：

福井哲朗武田宪一伊福俊博舟窪浩横山信太郎金容宽中木宽上野梨纱子冈本庄司

申请人：

佳能株式会社;国立大学法人东京工业大学

申请人地址：

日本东京

代理机构：

中国国际贸易促进委员会专利商标事务所

代理人：

付建军

优先权：

CN200680002605.8

主分类号：

H01L41/09

IPC分类号：

H01L41/09 H01L41/24