向热表面供给颗粒材料
发明专利申请公布后的视为撤回
摘要
一种颗粒材料(10)的蒸发方法，包括提供一个或者多个容器(15)，该容器各容纳各具有至少一种组分的可能有差别的颗粒材料(10)，在至少其中一个容器(15)内使颗粒材料(10)流体化，并提供与至少其中一个容器(15)热隔离的加热区域(50)。该方法进一步包括传递从各个容器(15)接收到的颗粒材料(10)至该蒸发区域(50)，以及在该蒸发区域(50)施加热量来蒸发所传递的颗粒材料(10)。
基本信息
专利标题 ：
向热表面供给颗粒材料
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN101111626A
申请号 ：
CN200680003621.9
公开（公告）日 ：
2008-01-23
申请日 ：
2006-01-30
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
M·龙B·E·科普T·W·帕洛恩
申请人 ：
伊斯曼柯达公司
申请人地址 ：
美国纽约州
代理机构 ：
中国专利代理(香港)有限公司
代理人 ：
丁建春
优先权 ：
CN200680003621.9
主分类号 ：
C23C14/24
IPC分类号 ：
C23C14/24 H01L51/00
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/24
真空蒸发
法律状态
2010-08-18 ：
发明专利申请公布后的视为撤回
号牌文件类型代码 : 1603
号牌文件序号 : 101004081564
IPC(主分类) : C23C 14/24
专利申请号 : 2006800036219
公开日 : 20080123
号牌文件序号 : 101004081564
IPC(主分类) : C23C 14/24
专利申请号 : 2006800036219
公开日 : 20080123
2008-03-12 ：
实质审查的生效
2008-01-23 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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