低温气体喷镀法
授权
摘要
本发明涉及一种借助低温气体喷镀为工件(13)镀层的方法。在这里使用低温气体喷嘴(12)，它产生一个对准表面(16)的颗粒射束(15)。按本发明规定，借助一个电磁能源，例如激光器(24)，在形成的层(20)内加入附加的能量，在这种情况下通过低温气体喷嘴(12)加入颗粒(19)中的能量同样有助于形成镀层。通过借助电磁辐射射线(25)来进行附加激活，使低温喷镀法可以灵活使用。此外，借助激光器(24)可以无需再加工地制成有复杂结构的镀层，例如印制导线。镀层设备同样是本发明的技术主题，它除了低温气体喷嘴(12)外还有一个电磁辐射射线发生器(24)，并因而适用于实施所述的方法。
基本信息
专利标题 ：
低温气体喷镀法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN101111630A
申请号 ：
CN200680003718.X
公开（公告）日 ：
2008-01-23
申请日 ：
2006-01-30
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
詹斯·D·詹森尤瑟斯·克鲁格雷蒙德·乌尔里克
申请人 ：
西门子公司
申请人地址 ：
德国慕尼黑
代理机构 ：
北京市柳沈律师事务所
代理人 ：
侯宇
优先权 ：
CN200680003718.X
主分类号 ：
C23C24/00
IPC分类号 ：
C23C24/00
相关图片
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C24/00
自无机粉末起始的镀覆（熔融态覆层材料的喷镀入C23C4/00；固渗入C23C8/00-C23C12/00
法律状态
2011-12-21 ：
授权
2008-03-12 ：
实质审查的生效
2008-01-23 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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