具有改进性能的浸渍表面涂料

专利权的终止

摘要

公开了在光致抗蚀剂材料上涂施的表面涂料。该表面涂料包含至少一种溶剂和在含水碱性显影剂中具有至少3000/秒的溶解速率的聚合物。该聚合物含有六氟醇单体单元，该单元包含下列两种结构之一：(I)，其中n是整数。该表面涂料可用在光刻法中，其中将该表面涂料涂施在光致抗蚀剂层上。表面涂料优选不溶于水，因此特别可用在使用水作为成像介质的浸渍光刻技术中。

基本信息

专利标题：

具有改进性能的浸渍表面涂料

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN101164013A

申请号：

CN200680004726.6

公开（公告）日：

2008-04-16

申请日：

2006-02-22

授权号：

暂无

授权日：

暂无

发明人：

R·D·艾伦P·J·布罗克D·吉尔W·D·欣斯伯格C·E·拉森L·K·森德伯格G·M·沃尔拉夫

申请人：

国际商业机器公司

申请人地址：

美国纽约

代理机构：

中国国际贸易促进委员会专利商标事务所

代理人：

王健

优先权：

CN200680004726.6

主分类号：

G03C1/00

IPC分类号：

G03C1/00

IPC结构图谱

G部——物理

G03

摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术

G03C

照相用的感光材料；照相过程，例如，电影、X射线、彩色、或者立体照相过程；照相的辅助过程

G03C1/00

感光材料

法律状态

2021-02-09 ：

专利权的终止

未缴年费专利权终止IPC(主分类) : G03C 1/00
申请日 : 20060222
授权公告日 : 20101103
终止日期 : 20200222

2017-12-08 ：

专利申请权、专利权的转移

专利权的转移IPC(主分类) : G03C 1/00
登记生效日 : 20171120
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 国际商业机器公司
变更后权利人 : 格芯美国第二有限责任公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 美国纽约
变更后权利人 : 美国纽约

2017-12-08 ：

专利申请权、专利权的转移

专利权的转移IPC(主分类) : G03C 1/00
登记生效日 : 20171120
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 格芯美国第二有限责任公司
变更后权利人 : 格芯公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 美国纽约
变更后权利人 : 开曼群岛大开曼岛

2010-11-03 ：

授权

2008-06-11 ：

实质审查的生效

2008-04-16 ：

公开

注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。

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