配置等离子体群集工具的方法和装置
授权
摘要
一种配置具有多个模块的特定等离子体群集工具的方法。该方法包括提供一组模块选项定义文件，该组模块选项定义文件包含用于一般等离子体群集工具的一般配置定义。该方法还包括提供一组具体到工具的保护信息，该组具体到工具的保护信息包括具体标识该配置所打算用到的特定等离子体群集工具的数据。该方法还包括提供一组具体到工具的选项规范，该组具体到工具的选项规范指定针对特定等离子体群集工具而指定的选项。该方法另外还包括生成密钥文件，该密钥文件封装被施加在特定等离子体群集工具上的限制，在配置该特定等离子体工具期间，该密钥文件被配置为所需要的文件。
基本信息
专利标题 ：
配置等离子体群集工具的方法和装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN101142579A
申请号 ：
CN200680006021.8
公开（公告）日 ：
2008-03-12
申请日 ：
2006-02-16
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
黄忠河范石全张震川
申请人 ：
朗姆研究公司
申请人地址 ：
美国加利福尼亚州
代理机构 ：
北京康信知识产权代理有限责任公司
代理人 ：
余刚
优先权 ：
CN200680006021.8
主分类号 ：
G06F19/00
IPC分类号 ：
G06F19/00
法律状态
2010-01-27 ：
授权
2008-05-07 ：
实质审查的生效
2008-03-12 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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