群集式工具的处理系统
授权
摘要
本发明的处理系统在处理时间独立的多个处理模块之间避免晶片搬入搬出的定时冲突的危险，提高系统整体的搬送效率或处理能力。在该处理系统中，在群集式工具内同时作业的多个例如处理模块(PM1、PM2、PM3、PM4)中，将被处理体滞留时间与位于其前后的附带的忙碌时间相加的模块周期时间设定成相同长度，搬送模块(TM)的搬送机器人(RB1)在对处理模块(PM1、PM2、PM3、PM4)一次访问中通过拿起和放置工作搬出处理完的晶片(Wi)并与之交替地搬入下一个晶片(Wi+1)。
基本信息
专利标题 ：
群集式工具的处理系统
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN101577220A
申请号 ：
CN200910142111.5
公开（公告）日 ：
2009-11-11
申请日 ：
2006-01-06
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
池田岳
申请人 ：
东京毅力科创株式会社
申请人地址 ：
日本东京都
代理机构 ：
北京尚诚知识产权代理有限公司
代理人 ：
龙 淳
优先权 ：
CN200910142111.5
主分类号 ：
H01L21/00
IPC分类号 ：
H01L21/00 H01L21/677 G05B19/418
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
法律状态
2013-05-08 ：
授权
2010-01-06 ：
实质审查的生效
2009-11-11 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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