用于微柱的壳体

专利权的终止

摘要

本发明公开了一种用于微柱的壳体，其可以容易地对准和装配微柱，并提高微柱的稳定性。该壳体用于制造包括电子发射体、偏转器和透镜的微柱，该壳体包括：电子发射体保持器，在该电子发射体保持器中插入所述电子发射体；保持器底座，在该保持器底座中插入所述电子发射体保持器；以及与所述保持器底座连接的柱底座，从而可以通过插入到塞孔中的螺栓或凹头固定螺钉在X轴和Y轴方向上在所述电子发射体保持器与所述保持器底座之间对所述电子发射体进行对准和固定。

基本信息

专利标题：

用于微柱的壳体

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN101128909A

申请号：

CN200680006079.2

公开（公告）日：

2008-02-20

申请日：

2006-02-23

授权号：

暂无

授权日：

暂无

发明人：

金浩燮金秉辰

申请人：

电子线技术院株式会社

申请人地址：

韩国忠清南道

代理机构：

北京三友知识产权代理有限公司

代理人：

李辉

优先权：

CN200680006079.2

主分类号：

H01J37/26

IPC分类号：

H01J37/26

IPC结构图谱

H部——电学

H01

基本电气元件

H01J

放电管或放电灯

H01J37/00

有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的

H01J37/26

电子或离子显微镜；电子或离子衍射管

法律状态

2021-02-09 ：

专利权的终止

未缴年费专利权终止IPC(主分类) : H01J 37/26
申请日 : 20060223
授权公告日 : 20121003
终止日期 : 20200223

2012-10-03 ：

授权

2008-04-23 ：

实质审查的生效

2008-02-20 ：

公开

注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。

文件下载

暂无PDF文件可下载