容积流体输送系统中的流体状态的控制
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摘要
一种改进的、用于向半导体加工工具提供加工流体的容积流体分配系统。该具有交变的压力容器式发动机的改进系统基本上消除了容积流体供给管线中由于来自分配容器中的流体的重量变化的落差损失而导致的压力波动。该系统还能够灵活控制流体供给管线中的流体的流动状态。
基本信息
专利标题 ：
容积流体输送系统中的流体状态的控制
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN101193815A
申请号 ：
CN200680006460.9
公开（公告）日 ：
2008-06-04
申请日 ：
2006-03-06
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
D·杰肯
申请人 ：
波克爱德华兹股份有限公司
申请人地址 ：
美国新泽西州
代理机构 ：
上海专利商标事务所有限公司
代理人 ：
胡晓萍
优先权 ：
CN200680006460.9
主分类号 ：
B67D5/08
IPC分类号 ：
B67D5/08
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法律状态
2012-03-28 ：
授权
2009-01-14 ：
专利申请权、专利权的转移(专利申请权的转移)
变更事项 : 申请人
变更前权利人 : 爱德华兹真空股份有限公司
变更后权利人 : 液化空气电子美国有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 美国马萨诸塞州
变更后权利人 : 美国得克萨斯州
登记生效日 : 20081212
变更前权利人 : 爱德华兹真空股份有限公司
变更后权利人 : 液化空气电子美国有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 美国马萨诸塞州
变更后权利人 : 美国得克萨斯州
登记生效日 : 20081212
2008-07-30 ：
实质审查的生效
2008-06-04 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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2、
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