容积流体分配系统中流体状态的控制

发明专利申请公布后的视为撤回

摘要

一种用于控制半导体制造过程中供给管线中流体压力的改进的容积流体分配系统。该分配系统包括带有压力容器或脉冲阻尼器的基于泵的发动机。在泵－压力容器实施例中，控制器监测供给管线中的流体压力并调整容器的分配压力。在泵－脉冲阻尼器实施例中，控制器监测供给管线中的流体压力并调整泵的流速以将供给管线中的压力维持在预定的给定值。

基本信息

专利标题：

容积流体分配系统中流体状态的控制

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN101208258A

申请号：

CN200680006461.3

公开（公告）日：

2008-06-25

申请日：

2006-03-06

授权号：

暂无

授权日：

暂无

发明人：

D·杰肯B·R·罗伯特

申请人：

波克爱德华兹股份有限公司

申请人地址：

美国新泽西州

代理机构：

上海专利商标事务所有限公司

代理人：

胡晓萍

优先权：

CN200680006461.3

主分类号：

B67D5/54

IPC分类号：

B67D5/54

法律状态

2011-07-27 ：

发明专利申请公布后的视为撤回

号牌文件类型代码 : 1603
号牌文件序号 : 101117499124
IPC(主分类) : B67D 5/54
专利申请号 : 2006800064613
公开日 : 20080625

2009-01-28 ：

专利申请权、专利权的转移(专利申请权的转移)

变更事项 : 申请人
变更前权利人 : 爱德华兹真空股份有限公司
变更后权利人 : 液化空气电子美国有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 美国马萨诸塞州
变更后权利人 : 美国得克萨斯州
登记生效日 : 20081226

2008-08-20 ：

实质审查的生效

2008-06-25 ：

公开

注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。

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