收集装置
发明专利申请公布后的视为撤回
摘要
一种收集装置(18)，用于从由真空泵从封闭容器中抽出的气流中除去物质。该收集装置包括壳体(28)，该壳体具有连接到封闭容器并用于从该封闭容器接收气流的入口(16)和连接到真空泵并用于将气流排出壳体的出口(20)。多个管筒中的每个管筒通过壳体(28)上的相应开口(36)而被可拆卸地插入壳体中，并且在其入口和出口之间为流过壳体的气流提供了相应的流动通道，每个管筒中容纳有去除装置，该去除装置用于从通过管筒的气体中除去物质，并使之形成为固体材料收集在管筒中。
基本信息
专利标题 ：
收集装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN101133185A
申请号 ：
CN200680006651.5
公开（公告）日 ：
2008-02-27
申请日 ：
2006-02-10
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
D·恩格兰P·迪克松M·C·霍普
申请人 ：
爱德华兹有限公司
申请人地址 ：
英国西萨塞克斯郡
代理机构 ：
中国专利代理(香港)有限公司
代理人 ：
范晓斌
优先权 ：
CN200680006651.5
主分类号 ：
C23C16/44
IPC分类号 ：
C23C16/44
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16/00
通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积工艺
C23C16/44
以镀覆方法为特征的
法律状态
2010-03-24 ：
发明专利申请公布后的视为撤回
2008-04-23 ：
实质审查的生效
2008-02-27 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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