制造微加工电容式超声传感器的表面微机械工艺
专利权的终止
摘要
本发明涉及制造工艺和相关的微加工电容式超声传感器，它采用在至少一个面较佳的是两个面上已由用低压化学气相沉积技术或称LPCVD沉积法沉积的氮化硅的上层9和下层9’覆盖的商用的硅晶片8。覆盖晶片8的两个最优质的氮化硅层9或9’中的一层用作传感器的发射膜。结果，在氮化硅的两层中的一层上生长形成CMUT传感器的微单元阵列6，即，以相对于经典的技术相反的步骤顺序在传感器的背部生长微单元阵列6。
基本信息
专利标题 ：
制造微加工电容式超声传感器的表面微机械工艺
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN101262958A
申请号 ：
CN200680006795.0
公开（公告）日 ：
2008-09-10
申请日 ：
2006-03-02
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
焦苏埃·卡利亚诺亚历山德罗·卡龙蒂伊莲娜·西安希维托里奥·富格李耶第安东尼奥·米诺第亚里山德罗·能希奥尼马西莫·帕帕拉尔多
申请人 ：
国家研究院;爱沙奥特股份公司;马西莫·帕帕拉尔多;焦苏埃·卡利亚诺;亚历山德罗·斯图尔特·萨沃亚;亚历山德罗·卡龙蒂;克里斯蒂纳·隆哥;菲利普·加塔
申请人地址 ：
意大利罗马
代理机构 ：
上海专利商标事务所有限公司
代理人 ：
马洪
优先权 ：
CN200680006795.0
主分类号 ：
B06B1/00
IPC分类号 ：
B06B1/00 B81B3/00
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B06
一般机械振动的发生或传递
B06B
一般的机械振动的发生或传递（其特殊物理或机械方法见有关小类，如B07B1/40，B22C19/06，B23Q17/12，B24B31/06，E01C19/22；机械振动的测量，包括发生与测量的结合入G01H；利用声波反射或再辐射的系统入G01S15/00；勘探用地震能的产生入G01V1/02；机械振动的控制入G05D19/00；声音发送、传导或定向的一般方法或装置入G10K11/00；声波的合成入G10K15/02；压电器件、电致伸缩器件或磁致伸缩器件入H01L41/00；有振动磁体、电枢或线圈的电动机入
B06B1/00
产生亚声频、声频或超声频的机械振动的过程或设备
法律状态
2019-03-01 ：
专利权的终止
未缴年费专利权终止IPC(主分类) : B06B 1/00
申请日 : 20060302
授权公告日 : 20110608
终止日期 : 20180302
申请日 : 20060302
授权公告日 : 20110608
终止日期 : 20180302
2011-06-08 ：
授权
2008-10-29 ：
实质审查的生效
2008-09-10 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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