搬运物浮起组件、搬运物浮起装置及载物台装置
发明专利申请公布后的视为撤回
摘要
本发明的搬运物浮起组件(50)包括从设置在上面(52)侧的吹气口(54)吹出空气的吹气流路(66)、及从设置在上面(52)侧的吸气口(56)吸引空气的吸气流路(64)。吹气流路(66)具有流路截面积不同的大流路(70)和小流路(68)，并具有流路截面积不连续变化的部分。这样，在流路截面积不连续变化的部分产生压力损失，可以提高作为搬运物的玻璃基板的保持刚性。
基本信息
专利标题 ：
搬运物浮起组件、搬运物浮起装置及载物台装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN101133488A
申请号 ：
CN200680006888.3
公开（公告）日 ：
2008-02-27
申请日 ：
2006-02-28
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
川地俊一藤川正行
申请人 ：
住友重机械工业株式会社
申请人地址 ：
日本东京都
代理机构 ：
永新专利商标代理有限公司
代理人 ：
陈英俊
优先权 ：
CN200680006888.3
主分类号 ：
H01L21/677
IPC分类号 ：
H01L21/677 B65G49/06
相关图片
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21/677
用于传送的，例如在不同的工作站之间
法律状态
2010-03-10 ：
发明专利申请公布后的视为撤回
2008-04-23 ：
实质审查的生效
2008-02-27 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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