一种载板安装架组件及载板搬运机构
授权
摘要
本申请提供了一种载板安装架组件及载板搬运机构,所述的载板安装架包括位于左右两侧的侧架,左右两侧的侧架之间设置有上下两侧框架,两个框架上分别安装有一抽屉架,所述的抽屉架能够相对所述的框架抽出,所述的抽屉架包括一沿Y向设置的横杆、多个一端部固定安装在横杆上的沿X向设置的纵杆、通过一线性导轨组件与所述的纵杆滑动连接的沿X向设置的固定杆,所述的线性导轨组件沿X向设置。本申请的一种载板安装架组件及载板搬运机构,能够实现一次搬运两个载板,提高了工作效率。
基本信息
专利标题 :
一种载板安装架组件及载板搬运机构
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201921238114.4
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-08-01
授权号 :
CN211125604U
授权日 :
2020-07-28
发明人 :
张学强戴军张建伟罗银兵刘三利祝志强
申请人 :
罗博特科智能科技股份有限公司
申请人地址 :
江苏省苏州市工业园区唯亭港浪路3号
代理机构 :
苏州市中南伟业知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 :
李娅
优先权 :
CN201921238114.4
主分类号 :
H01L21/673
IPC分类号 :
H01L21/673 H01L21/677 H01L31/18
相关图片
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21/673
使用专用的载体的
法律状态
2020-07-28 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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