一种载板搬运机构
授权
摘要
本申请提供了一种载板搬运机构，包括轨道组件、安装在导轨组件上的能够沿导轨组件滑动的载板安装架组件，所述的轨道组件包括一沿Y向延伸设置的直线电机、与所述的直线电机平行的分别设置在直线电机两侧的两个滑轨，所述的轨道组件上设置有一移动架，所述的移动架下侧固定安装有两个能够分别沿两个滑轨滑动的滑动块、在所述的直线电机的驱动下移动的移动块，所述的载板安装架安装在移动架上。本申请的一种载板搬运机构，能够实现一次搬运两个载板，提高了工作效率。
基本信息
专利标题 ：
一种载板搬运机构
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921238147.9
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-08-01
授权号 ：
CN210123726U
授权日 ：
2020-03-03
发明人 ：
张学强戴军张建伟罗银兵刘三利祝志强
申请人 ：
罗博特科智能科技股份有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市工业园区唯亭港浪路3号
代理机构 ：
苏州市中南伟业知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
李娅
优先权 ：
CN201921238147.9
主分类号 ：
H01L21/677
IPC分类号 ：
H01L21/677 H01L31/18
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21/677
用于传送的，例如在不同的工作站之间
法律状态
2020-03-03 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
