通过在设置成在等离子体炬前移动的预制件上沉积预烧结组合物来制备玻璃，所述等离子体炬大体上平行地沿预制件纵向来回移动，第一进料管给等离子体供给预烧结组合物细粒，而任选地第二进料管给等离子体供给与载气混合的氟或氯化合物，优选氟化合物，其中所述预烧结组合物为热解二氧化硅粉末的金属氧化物或者类金属氧化物的颗粒，所述热解二氧化硅粉末的BET表面积为30－90m²/g，DBP指数为80或更小，平均聚集体面积小于25000nm²，并且平均聚集体周长小于1000nm，其中至少70％的聚集体的周长小于1300nm；或者所述预烧结组合物为高纯度热解二氧化硅的金属氧化物或者类金属氧化物的颗粒，所述高纯度热解二氧化硅由金属含量小于30ppb的四氯化硅通过火焰水解反应制得，且其金属含量小于0.2μg/g。