用于制备有机金属化合物的方法
发明专利申请公布后的驳回
摘要
本发明涉及用于制备由式H3Al:Ln所示的有机金属化合物的方法，其中L是一种或多种能为铝提供非共用电子对的路易斯碱，且n为1或2，该方法包括(a)在醚溶剂中形成氢化碱金属铝和路易斯碱的第一溶液，(b)在足以产生包含所述有机金属化合物的第二溶液的反应条件下，向所述第一溶液添加醚溶剂中的卤化铝，以及(c)从所述第二溶液中将所述有机金属化合物分离出来。该有机金属化合物可用于半导体应用，作为用于膜沉积的化学蒸汽或原子层沉积前体。
基本信息
专利标题 ：
用于制备有机金属化合物的方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN101142221A
申请号 ：
CN200680008505.6
公开（公告）日 ：
2008-03-12
申请日 ：
2006-01-17
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
D·W·彼得斯M·T·莫斯克罗普三世
申请人 ：
普莱克斯技术有限公司
申请人地址 ：
美国康涅狄格州
代理机构 ：
中国专利代理(香港)有限公司
代理人 ：
段晓玲
优先权 ：
CN200680008505.6
主分类号 ：
C07F5/06
IPC分类号 ：
C07F5/06 C23C16/00 B05D5/12
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C07
有机化学
C07F
含除碳、氢、卤素、氧、氮、硫、硒或碲以外的其他元素的无环，碳环或杂环化合物
C07F5/00
含周期表第3或13族元素的化合物
C07F5/06
铝化合物
法律状态
2014-04-09 ：
发明专利申请公布后的驳回
号牌文件类型代码 : 1602
号牌文件序号 : 101699958584
IPC(主分类) : C07F 5/06
专利申请号 : 2006800085056
申请公布日 : 20080312
号牌文件序号 : 101699958584
IPC(主分类) : C07F 5/06
专利申请号 : 2006800085056
申请公布日 : 20080312
2008-05-07 ：
实质审查的生效
2008-03-12 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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