有机金属化合物及其制备方法
专利权的终止
摘要
本发明涉及式LML′表示的有机金属化合物、制备所述有机金属化合物的方法以及由所述有机金属化合物制备薄膜或涂层的方法，其中M为金属或准金属，L为取代或未取代的环戊二烯基或类环戊二烯基、取代或未取代的戊二烯基或类戊二烯基或取代或未取代的吡咯基或类吡咯基，L′为取代或未取代的吡咯基或类吡咯基。所述有机金属化合物在半导体应用中用作薄膜淀积的化学蒸气或原子层淀积前体。
基本信息
专利标题 ：
有机金属化合物及其制备方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN101080415A
申请号 ：
CN200580042841.8
公开（公告）日 ：
2007-11-28
申请日 ：
2005-10-13
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
S·H·米埃尔
申请人 ：
普莱克斯技术有限公司
申请人地址 ：
美国康涅狄格州
代理机构 ：
中国专利代理(香港)有限公司
代理人 ：
刘冬
优先权 ：
CN200580042841.8
主分类号 ：
C07F17/02
IPC分类号 ：
C07F17/02 C07D207/323
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C07
有机化学
C07F
含除碳、氢、卤素、氧、氮、硫、硒或碲以外的其他元素的无环，碳环或杂环化合物
C07F17/00
茂金属
C07F17/02
周期表第8、9或10族金属的
法律状态
2020-10-02 ：
专利权的终止
未缴年费专利权终止IPC(主分类) : C07F 17/02
申请日 : 20051013
授权公告日 : 20120118
终止日期 : 20191013
申请日 : 20051013
授权公告日 : 20120118
终止日期 : 20191013
2012-01-18 ：
授权
2008-01-23 ：
实质审查的生效
2007-11-28 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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