制备有机金属化合物的方法
发明专利申请公布后的视为撤回
摘要
本发明涉及制备式M(L)3表示的有机金属化合物的方法，其中M为VIII族金属，例如钌，且L相同或者不同，且代表取代或未取代的酰胺根基团或者取代或未取代的酰胺根类基团，该方法包括(i)使取代或未取代的金属源化合物，例如钌(II)化合物，在溶剂存在下，并在足以产生包含所述有机金属化合物例如钌(III)化合物的反应混合物的反应条件下，与取代或未取代的酰胺根或酰胺根类化合物反应，和(ii)将所述有机金属化合物从所述反应混合物中分离。该有机金属化合物可作为薄膜沉积物的化学气相沉积前体或原子层沉积前体，用于半导体应用。
基本信息
专利标题 ：
制备有机金属化合物的方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN101155676A
申请号 ：
CN200680010990.0
公开（公告）日 ：
2008-04-02
申请日 ：
2006-02-08
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
D·M·汤普森
申请人 ：
普莱克斯技术有限公司
申请人地址 ：
美国康涅狄格州
代理机构 ：
中国专利代理(香港)有限公司
代理人 ：
刘冬
优先权 ：
CN200680010990.0
主分类号 ：
B29C39/00
IPC分类号 ：
B29C39/00 C23C16/18
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B29
塑料的加工；一般处于塑性状态物质的加工
B29C
塑料的成型连接；塑性状态材或料的成型，不包含在其他类目中的；已成型产品的后处理，例如修整
B29C39/00
浇注成型，即将模制材料引入模型或没有显著模制压力的两个封闭表面之间；所用的设备
法律状态
2012-12-05 ：
发明专利申请公布后的视为撤回
号牌文件类型代码 : 1603
号牌文件序号 : 101479745026
IPC(主分类) : B29C 39/00
专利申请号 : 2006800109900
申请公布日 : 20080402
号牌文件序号 : 101479745026
IPC(主分类) : B29C 39/00
专利申请号 : 2006800109900
申请公布日 : 20080402
2008-05-28 ：
实质审查的生效
2008-04-02 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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