根据本发明的用于固化涂膜的方法和装置，由于离子辐射是在将涂膜表面之上1mm内的近表面层中的O₂浓度调节到1000ppm或更低之后实施的，因此通过所述离子辐射的辐照，该涂膜可以得到充分固化。换言之，根据本发明的用于固化涂膜的方法和装置，由于降低了在涂膜表面上的薄近表面层中的O₂浓度，因此通过所述离子辐射的辐照，可以将该涂膜充分固化。因此，可以减少在辐照离子辐射时所供给的惰性气体的量，并且可以实现装置的小型化和成本降低。