提供了一种连接在RF功率发生器的输出端与等离子体腔体的输入端之间的次级电抗终端电路，以允许对工艺等离子体中的次频率的电压和电流分量进行严格的调节或者限制。次级电抗电路对匹配网络的阻抗进行控制，其中最初将该匹配网络设计为从系统中的次频率来看，在RF功率发生器的基本频率进行操作。在终端电路的连接点上对功率传输分量进行测量，并且该功率传输分量用来作为反馈信号，以控制终端电路分量的可变值。