方形基片涂胶单元中的自动扣盖机构

避免重复授权放弃专利权

摘要

本实用新型涉及方形基片涂胶领域，具体为一种方形基片涂胶单元中的自动扣盖机构，应用于方形基片(如光刻掩膜板、平板显示器)涂胶工艺中涂胶腔体自动扣盖和开启功能。该自动扣盖机构设有内盖和外盖两层盖结构，外盖中心开孔，其上表面设有定位销子Ⅰ；内盖中心通过连接件穿过外盖中心孔连有定位板，定位板通过其上开设的销孔与外盖上的定位销子Ⅰ相对应；方形基片涂胶单元的承片台上安装旋转盖板，旋转盖板表面设有定位销子Ⅱ，内盖通过其上开设的销孔与旋转盖板上的销子Ⅱ相对应。本实用新型整个扣盖机构由一气缸驱动上下运动，可以完成自动扣盖和开启动作，它解决了方形基片的均匀涂胶等问题。

基本信息

专利标题：

方形基片涂胶单元中的自动扣盖机构

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN200720016328.8

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2007-11-30

授权号：

CN201132153Y

授权日：

2008-10-15

发明人：

陈焱

申请人：

沈阳芯源微电子设备有限公司

申请人地址：

110168辽宁省沈阳市浑南新区飞云路16号

代理机构：

沈阳科苑专利商标代理有限公司

代理人：

张志伟

优先权：

CN200720016328.8

主分类号：

B05C21/00

IPC分类号：

B05C21/00 B05C13/02