缓冲式垂直探针卡，用于检测半导体芯片电特性的探针卡。其特征是该探针卡设有平坦度调整机构和缓冲机构，其平坦度调整机构由加强板、平坦度调整栓、手柄、陶瓷结构、PCB板上下排列结合组成；其缓冲机构是由定位销、孔阵板、点阵PCB、平面构件、结构固定板组成。其优点是：垂直探针接触芯片PAD时，在陶瓷圆盘间隙中形成S形状，这种探针的缓冲功能减少了探针对芯片PAD带来损伤的几率；ESD检测是反复进行的，对探针的疲劳特性的改良可延长垂直探针的寿命；垂直探针的长度一致，所以在半导体芯片检测中干扰少、导电性能均匀；由于使用了陶瓷材料，对温度变形小；第五，点阵PCB可以分立单独安装，所以受损垂直探针的替换容易，对位简易。