本实用新型涉及一种真空调频机，属于电子行业－真空调频设备技术领域。包括由底版3、真空室壁19、上盖板20构成的真空室，真空室内设有连接带动承载体夹具托盘10分别在X方向、Y方向步进移动的X方向步进移动装置、Y方向步进移动装置，X方向步进移动装置、Y方向步进移动装置通过支撑架5连接在底版3上，与真空室连接的固定支撑架21上连接有被调频体频率探测装置，被调频体频率探测装置位于夹具托盘10上的夹具16上方，夹具16下方设有蒸发盒8与蒸发电极7构成的银蒸发装置。本实用新型省去许多密封与机械结构；单位面积下得到更多的利用空间，大大提高工作效率；接触方式改为通过控制电机带动凸轮，运动速度快，测量准确。