源材料蒸发器

专利权的终止

摘要

本实用新型公开了一种源材料蒸发器，它包括端盖(1)、导线(2)、套筒(3)、密封材料(4)、蒸发套(5)、电热丝(6)，其特征是：所述套筒(3)的一端插入所述蒸发套(5)中，套筒(3)的另一端连接有起密封作用的端盖(1)，导线(2)穿过端盖(2)和套筒(3)与蒸发套(5)内的电热丝(6)相连，所述导线(2)被密封材料(4)密封在套筒(3)内，在所述蒸发套(5)上设有开口(7)。本实用新型设计合理、结构简便、工作可靠、可以实现对各源材料独立蒸发，分别控制各自源材料的蒸发速率，最终提高传统管式炉生长材料的成分控制精度。

基本信息

专利标题：

源材料蒸发器

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN200720031810.9

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2007-05-18

授权号：

CN201037164Y

授权日：

2008-03-19

发明人：

王发展

申请人：

西安建筑科技大学

申请人地址：

710055陕西省西安市雁塔路13号

代理机构：

西安西达专利代理有限责任公司

代理人：

第五思军

优先权：

CN200720031810.9

主分类号：

C30B23/06

IPC分类号：

C30B23/06